手動隔絕真空閥門適用于初步或者前端系統(tǒng)中。大部分應用于連接排氣系統(tǒng)，在這過程中有可能會污染到腔體本身。
閥體特殊設計可以更安全，而且當幫浦倒流時可以保護腔體本身。真空隔絕閥本身是使用焊式波紋管，將閥體縮小優(yōu)化，提供更佳的傳導性。
輪轉式手動角閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-UHV-CF-133
3/4”
41
60
124
MAV-UHV-CF-133-1
3/4”
55
60
139
MAV-UHV-CF-275
1-1 /2”
63
60
162
MAV-UHV-CF-275-1
1-1 /2”
67
60
193
輪轉式手動Y型閥，超高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-UHV-CF-133
3/4”
119
100
MIV-UHV-CF-275
1-1 /2”
133
123
輪轉式手動角閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-HV-CF-133
3/4”
41
60
124
MAV-HV-CF-133-1
3/4”
55
60
138
MAV-HV-CF-212
1”
50
60
131
MAV-HV-CF-212-1
1”
53
60
133
MAV-HV-CF-275
1-1 /2”
63
60
162
MAV-HV-CF-275-1
1-1 /2”
67
67
165
MAV-HV-CF-338
2”
72
60
193
MAV-HV-CF-338-1
2”
78
78
199
輪轉式手動Y型閥，高真空，CF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-HV-CF-133
3/4”
119
100
MIV-HV-CF-212
1”
107
97
MIV-HV-CF-275
1-1 /2”
133
123
MIV-HV-CF-338
2”
182
152
輪轉式手動角閥，高真空，KF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
C
MAV-HV-KF-16
3/4”
40
60
123
MAV-HV-KF-16-1
3/4”
55
60
138
MAV-HV-KF-25
1”
50
60
130
MAV-HV-KF-25-1
1”
52
60
132
MAV-HV-KF-40
1-1 /2”
65
60
164
MAV-HV-KF-50
2”
70
60
191
MAV-HV-KF-50-1
2”
76
60
198
輪轉式手動Y型閥，高真空，KF法蘭
Catalogue PN
Tube OD
A
B
MIV-HV-KF-16
3/4”
102
100
MIV-HV-KF-25
1”
107
97
MIV-HV-KF-40
1-1 /2”
130
123
MIV-HV-KF-50
2”
178
152
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手動隔絕真空閥門
